随着全球能源危机以及环境污染问题越来越严重,新型能源特别是太阳能越来越被研究者们所青睐,但太阳能的转换效率仍有待提高。因此,目前主要的研究方向是表面织构的制备以及其光学特性的表征,以期待可以提高太阳能转换效率。本文主要采用双槽电化学腐蚀法制备纳米多孔硅结构,通过对制备的样品进行扫描电镜、发光强度以及反射率、透光率的测试,探究了在电解液(乙醇与氢氟酸)配比不同、电解时间不同、电解液电流密度不同下对多孔硅结构的表面形貌以及光学特性的影响,从而优化多孔硅的制备工艺。再通过模板法将制备出来的纳米多孔结构复制到太阳能电池表面,使得能够在太阳能电池表面形成一层纳米多孔结构的薄膜。采用扫描电镜观察不同工艺条件下在硅片表面形成的结构形貌以及复制到太阳能电池薄膜表面上的结构形貌。采用紫外红外分光光度计以及荧光分光光度计检测硅片和薄膜表面结构的光学特性,从而优化出最佳的工艺制备条件,然后通过对样品进行光伏性能的检测进一步的验证结果,最后通过仿真模拟软件从理论上证明纳米多孔硅结构的光学特性以及本质。结果表明:不同的制备工艺会在硅片表面形成的不同的纳米多孔结构,且发光强度也随着电解液浓度的变化、电流密度的变化、电解时间的变化呈现先上升后下降的趋势,反射率、透光率也随着工艺条件的不同发生有规律的变化,得出最佳制备的工艺条件为电解液浓度比为乙醇与氢氟酸的比1:1,电解时间为120min,电解电流密度为60m A/cm2。通过光伏实验的进一步的检测检品,得出最佳工艺制备出来的样品开路电压最大、功率最大。采用模板法可以将最佳工艺制备出来的纳米多孔硅结构复制到太阳能电池表面薄膜上,通过光学性能的测试,得出可以成功将纳米多孔结构复制到太阳能电池表面。最后通过FDTD Solution软件进行模拟,从理论上证明了微纳结构是可以提高对太阳能的吸收和利用效率。总体来说,纳米多孔硅结构能够降低光的反射率,增强对光的吸收与利用。