近年,科技的快速发展对材料性能的要求越来越高,常规处理已不能满足需要。为了拓宽材料的应用领域,我们采取对原始材料进行改性、纳米化等处理,以此来提高材料的性能。钛金属表面的阳极氧化处理就属于一种纳米化处理,处理后的氧化钛薄膜具有比钛金属更优异的性能。目前,在对钛金属的表面处理上,国内外已有多种较成熟的研究方法,但均存在成本高、工艺复杂等各种缺陷。于此本文提出一种新型制备氧化钛薄膜的方法。本文采用阳极氧化法制备二氧化钛纳米薄膜,包括在钛表面制膜和玻璃基表面溅射钛制膜。在钛表面制膜实验中,研究了电压波形、终值电压、温度、电解液等的不同对制备氧化薄膜颜色的影响,通过对薄膜耐酸性能试验、中性盐雾试验、摩擦试验等的测试得出上述各参数对薄膜性能的影响;初步探讨了制取复杂形面的氧化钛薄膜方法:通过实验模拟了阳极氧化薄膜的生长动力学过程。采用磁控溅射将金属钛溅射到玻璃表面进行阳极氧化处理制备氧化钛薄膜,并对薄膜进行晶化处理。最后利用电子扫描显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、紫外可见光光度计、电子探针显微分析仪等手段对薄膜进行了表征,对比分析了晶化处理前、后的薄膜的表面形貌、金相结构、吸收紫外光的光波长、组织成分的区别。本实验成功制备了纳米晶化氧化钛薄膜,并通过研究发现:在实验工艺参数中,电压对薄膜的影响最为显著;运用脉冲直流电源、恒流渐加电压方式能使薄膜获得优异的性能。最后运用电子扫描显微镜、衍射仪分别验证了薄膜的纳米化及晶体化,为后续研究奠定了基础。