【摘 要】
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用热灯丝化学气相沉积方法制备硼掺杂金刚石膜,系统地研究了硼源流量、生长气压和氮气流量等工艺参数对金刚石膜生长特性的影响。金刚石膜的形貌、织构、结晶质量随硼流量和
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用热灯丝化学气相沉积方法制备硼掺杂金刚石膜,系统地研究了硼源流量、生长气压和氮气流量等工艺参数对金刚石膜生长特性的影响。金刚石膜的形貌、织构、结晶质量随硼流量和沉积气压的变化而变化,而且硼在膜中的空间分布不均匀,这些效应的综合作用导致薄膜应力状态的改变。结合霍尔效应及应力测试进一步探讨了生长掺硼金刚石薄膜的优化条件。探讨了氮对生长硼掺杂金刚石膜的晶粒尺寸(从微米到纳米)及相应场发射特性的影响。
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