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本文主要给出了利用小孔和四极质谱计建立真空标准漏孔校准装置的原理和方法。文中研究了小孔流导的基本特性，并给出了小孔流导的计算公式：提出了利用恒压法对小孔流导进行测试，对选定的小孔的流导进行了测试，给出了小孔流导随压力变化的曲线方程。利用小孔设计的气体流量计，其流量可以任意调节，校准时流量计提供的流量大小仅与稳压室的压力有关，并且可以将流量计的流量调节到与被校漏孔漏率大小相等，再用四极质谱计将二者进行比较，计算出漏孔的漏率，这样四极质谱计只起比较器的作用，解决了四极