【摘 要】
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该文提出了一种等离子氢化的物理方法,采用离子束分析方法研究Zr金属薄膜在氢等离子体作用下的氢化特性.通过比较分子吸氢和等离子吸氢,发现由于高流的氢原子和离子作用于表
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该文提出了一种等离子氢化的物理方法,采用离子束分析方法研究Zr金属薄膜在氢等离子体作用下的氢化特性.通过比较分子吸氢和等离子吸氢,发现由于高流的氢原子和离子作用于表面和氢原子在表面层和晶格中的扩散几率远高于氢原子在表面的再结合逸出几率的结果,氢等离子体作用下的金属氢化速率远高于分子氢化.在室温和～2Pa氢压的DC放电条件下,10分钟内样品的氢化浓度可达饱和值66.67﹪,远大于该压强下的气体氢化浓度.在结合现有的分子吸氢的动力学方程的基础上,拟出适合等离子体吸氢的一套完整的吸氢动力学方程.同时从动力学角度比较分子吸氢和等离子吸氢的区别.采用non-RBS分析方法,测量在等离子体氢化后的样品表面的污染及污染对样品吸氢量的影响.发现表面氧化物对等离子体氢化不构成有效的障碍层,但随着污染的增加,氢化浓度却大大减少.
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