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多铁材料是指包含两种及两种以上铁性（铁电、铁磁、铁弹）的材料。目前铁电有序和铁磁或反铁磁有序共存的铁磁电多铁材料具有磁电耦合效应,引起人们的广泛兴趣。磁电耦合效应使得多铁材料在信息存储、自旋电子学、非线性磁光效应以及传感器等领域具有潜在的应用前景。目前对多铁材料体相材料研究比较多，对于薄膜材料研究比较少，尤其是多铁材料与其他材料构成的异质结构更是鲜见报道。由此对具有钙钛矿结构的单相多铁材料TbMnO_3和TbFeO_3构成薄膜异质结构展开研究。本文利用磁控溅射法制备了TbMnO_3、