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薄膜材料独特的光学、力学、电磁学特性,使其在工程领域内被广泛应用。电沉积法作为一种制备薄膜的常用方法,需要高质量的表面作为衬底,且衬底的表面对薄膜质量有重要影响。有效的评价衬底表面质量,能够了解各种因素对衬底的重要性,同时可以为衬底的加工提供依据。因此,对衬底表面质量进行科学地综合评价,对于衬底的加工具有重要意义。面向电沉积方法制备薄膜对衬底表面的要求,为了科学地评价衬底的表面质量,本文以铜衬底为研究对象,提出了对衬底表面质量进行综合评价,并建立了薄膜衬底表面质量评价模型。主要研究工作如下:(1)确