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本文以提高引线键合设备的性能、封装质量和超声能量的利用率为目标,针对引线键合用高频超声换能器的设计方法、材质选择以及匹配驱动电路的设计做了较为详尽的研究。全文工作及所取得成果如下:1.基于振动和波动理论,运用机电等效原理构建了聚能器和换能器各组成部分的数学模型以及压电换能系统的机电等效电路,并建立了硬铝、不锈钢和钛合金三种材质超声换能器的初始模型。2.针对上述三种材质超声换能器的初始模型,利用有限元分析软件ANSYS对其各组成部分及整体进行优化设计,得到三种材质超声换能器的最