碳纳米管(carbon nanotube,CNT)自1991年由日本科学家Iijima发现以来引起了广泛关注。通过大量的理论和实验研究表明,特殊的纳米结构使得碳纳米管具有一些优良的性能,如巨大的比表面积、良好的吸附性能、稳定的化学性质,以及独特的电学特性。正是由于上述优良性质使得碳纳米管成为制作各种传感器的选择。研究表明,碳纳米管作为敏感材料的传感器具有灵敏度高、响应快等优点,因此其具有良好潜在的应用前景。论文对基于电容响应的掺有低浓度多壁碳纳米管的SiO2-CNT薄膜的气、湿敏敏感机理进行了理论研究。利用前苏联Dubinin院士在多孔碳气体吸附的Dubinin-Radushkevich方程,得到了气体在多孔敏感薄膜内发生毛细凝聚的吸附曲线。利用电介质理论研究了多相复合材料的介电性质,包括介电常数随吸附气体体积变化关系,并对公式进行修正。同时研究了吸附过程中气体在敏感薄膜体内的扩散,分析了理论的响应时间。通过实验对理论进行验证和改进。完成了不同碳纳米管质量浓度的SiO2-CNT多孔薄膜的制备。对不同碳纳米管质量分数的传感器进行了频率特性测试。实验结果表明,敏感薄膜在低频带范围(100Hz-1MHz)内有明显的界面极化效应,得到了不同频率下的吸附曲线。同时研究了长径比对材料敏感特性的影响。当碳纳米管质量分数相同时,含有较小长径比(30)的碳纳米管的传感器的电容明显较大。通过实验过程发现当碳纳米管的质量分数为1wt%,以SiO2-CNT作为敏感材料的叉指电极式传感器具有良好的线性。