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原子层沉积法制备纳米结构的透明柔性电容器及其物性研究

来源 :武汉大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zq09171

【摘 要】

：

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【作 者】

：

张国祯 

【出 处】

：

武汉大学

【发表日期】

：

2017年01期

【关键词】

：

透明电容器 薄膜晶体管 原子层沉积 银纳米线 柔性器件 

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