射频板条CO2激光器电极表面镀膜及放电控制的研究

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射频板条CO2激光器采用非稳-波导混合腔结构,具有光束质量好、电光转换效率高、结构紧凑、热稳定性能好等特点,具有广泛的应用前景。本论文研究了射频板条CO2激光器电极表面镀膜和放电控制技术。主要内容包括:(1)进行了溶胶-凝胶镀膜实验。采用以异丁醇铝为前驱物、水为溶剂、硝酸为胶溶剂的实验方案在铜表面制备氧化铝膜。物相测试结果表明,膜层为单一晶相的α-Al2O3,光谱仪测试结果表明膜层表面反射率较低。(2)开展了化学气相沉积镀膜实验。以AlCl3、H2、CO2为反应物、H2S为催化剂,800°C下在铜表面制备氧化铝膜。光谱仪测试结果表明膜层对10.6μm入射光的反射率达85%,能谱仪和衍射仪测试结果表明,所制备的氧化铝膜为α-Al2O3和γ-Al2O3的混合体。(3)进行了磁控溅射镀膜实验。采用磁控溅射法在电极表面制备铝膜,之后铝膜在激光器工作中被放电氧化。所制备的膜层均匀致密,表面反射率基本达到激光器工作的要求。使用镀膜后的电极,激光器放电均匀稳定、输出功率较高。(4)开发了一套激光功率控制系统。采用单片机作为微处理器、CPLD作为PWM波产生器,模拟、数字、PLC和PC多路信号输入方式进行控制,通过产生占空比和频率可调、不同工作模式的PWM波,实时控制激光器的输出功率。波导膜改善了电极表面特性,提高了激光器输出功率和工作稳定性,本论文的研究工作对于促进射频板条CO2激光器的自主研发具有较为重要的理论意义和实践价值。
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