在光刻机研制中,双工件台的换台方案是必不可少的设计环节。双工件台系统在换台过程中,需要多个执行器相互配合才能使换台动作顺利完成。而且在运行过程中,对电机的定位精度和运行速度都有比较高的设计要求。因此,本文针对在换台中起到关键性作用的公转电机和自转电机的控制做出具体研究。首先,介绍了光刻机和双工件台的系统组成,根据双工件台的结构功能与设计思想,规划换台具体方案。为了保证换台的有效性和稳定性,设计了S曲线作为执行器的输入轨迹。分析了在整个换台过程中各执行器的定位问题和同步性要求。其次,对公转电机和自转电机在换台过程中受到的干扰进行细致分析,且得到周期性的干扰模型。采用迭代学习算法设计单电机执行控制器,并通过仿真分析其控制效果,检验算法在该系统应用的可行性。利用高阶迭代学习改进单电机控制器,实现更快速的收敛和抗周期性干扰的目的。再次,考虑到双电机系统结构,分析不同种类的同步控制策略的优劣特点。并根据每种同步控制结构设计符合双电机的同步控制系统,而后通过仿真分析验证。最终选取交叉耦合的主从控制结构为较适合公自转电机系统的同步控制结构。将迭代学习算法应用到同步控制器当中,再仿真验证其同步控制效果。最后,选定系统的同步控制结构为主从方式,采用二阶迭代学习算法控制主电机的方式来设计改进同步控制系统。通过仿真分析与迭代学习同步控制器的控制效果进行对比,展现系统的跟踪误差和同步误差的整体效果的优越性。介绍换台实验系统情况,在实验平台上验证迭代学习算法与双电机同步控制策略结合的控制效果。实验证明这种迭代学习算法与主从同步结构相结合的控制效果误差特性基本满足系统性能指标。