改革开放以来我国经济增长取得了巨大成就,同时也伴随着一系列的发展问题与阻碍,如何有效地解决这些问题已成为现阶段学术研究和政府政策制定共同关注的重要问题之一。其中,全要素生产率是学者们研究的重点之一。纵观文献,发现多数学者使用《中国工业企业数据库》对全要素生产率进行测算与分析,进而以其结果为基础,对过去经济増长模式是否合理进行分析和判断。但企业数据库数据量较为庞大和繁杂,如若不对数据库进行匹配处理,会对最终结果的有效性产生较大的影响,因此,在前人的基础上,采用三种数据匹配的方法,分别是聂辉华的“分组交叉匹配法”、Brandt的“序贯识别法”、杨汝岱的改进版的“序贯匹配法”,再进行分析比较后,最终得到了具有学术研究价值的面板数据。本文先对浙江县区区域的制造业企业的分布进行系统地分析,并采用DEA模型的Malmquist指数和ATFP近似估计方法,测算了2005-2013年浙江省制造业全部规上企业的全要素生产率;再从行业间出发,建立面板回归模型,研究企业规模、研发投入与全要素生产率之间的传导机制;最后从行业内出发,重点研究浙江省电气机械及器材制造业的企业规模与全要素生产率之间的作用机理。结果表明:第一,浙东北地区的生产要素在数量上普遍高于浙西南地区。就不同行业而言,劳动密集型产业是浙江省支柱型产业,占据半壁江山的位置,而资本密集型产业和技术密集型产业在浙江省制造业产业的地位相近。第二,资本密集型产业的全要素生产率最高,其次是劳动密集型产业,再者是技术密集型产业。第三,通过构建全要素生产率影响因素的计量模型发现,发现浙江省劳动密集型典型产业——纺织业、资本密集型产业——交通运输设备制造业呈现规模不经济现象,但是企业可以通过提高技术水平进而对生产率产生正向效应,浙江省技术密集型产业——通信设备、计算机及电子设备制造业则呈现规模经济现象,且企业规模可以进一步通过提高生产技术水平进而提高生产率。第四,基于规模异质性角度,对浙江省典型产业——电气机械及器材制造业进行实证分析,对影响其生产率的具体因素进行分析测算,结果表明,企业规模对大中规模企业的全要素生产率是正向影响,对小规模企业的全要素生产率是负向影响;而大中规模企业适合于内资型企业组织结构,小规模企业适合于外资型企业组织结构。基于以上分析,对浙江省行业企业的发展提出具体的对策与建议。