论文部分内容阅读
纳米技术与生物技术结合的日渐成熟,使得生物器件逐渐向高速化,小型化,大容量信息储存化的纳米生物器件方向发展。晶体硅被广泛应用于传统生物器件中,而纳米尺寸的硅薄膜由于其独特的结构及特性,可以很好的代替晶体硅应用于新型的纳米生物器件中实现更高速准确的响应。本文将利用磁控溅射法制备铝掺杂纳米尺寸硅薄膜,利用飞秒激光泵浦-探测技术对其表面载流子超快动力学进行研究。主要研究内容如下:(1)使用磁控溅射法制备铝掺杂纳米尺寸硅薄膜,利用SGC-10薄膜测厚仪对其厚度进行测量。(2)利用飞秒激光泵浦-探测技术,采用