论文部分内容阅读
点衍射干涉仪是波前测量的有效手段,其无需参考镜、共光路结构等优点可以满足高精度的测量要求。为了实现光学波前的瞬态测量,研究了点衍射干涉仪,可以用一幅圆载频干涉图来恢复原始相位。首先,为了实现高精度瞬态波前检测的要求,设计了点衍射干涉法波前检测的方案,研究了点衍射干涉仪的原理,分析了折射系统、同轴反射系统和离轴反射系统,给出了离轴反射系统的参数。第二,为了实现点衍射干涉仪波前检测中干涉图的高对比度,仿真分析了会聚光束经小孔后的衍射光强,得到了不同离焦量下的干涉图对比度,设计及研制了点衍