高频超声压电换能器系统动力学行为特性及控制技术研究

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压电超声换能器是高频热超声引线键合系统中的关键组成之一,其动力学行为特性对键合连接可靠性与质量有着显著影响,因此换能器动力学行为特性与控制技术的研究具有重要学术和应用价值,本文以调节高频超声压电换能器电气与动力学行为特性、提高键合效率和质量为目的,系统研究了换能器激振声源系统、换能器电学特性及动力行为特性的影响因素及规律、换能器动态响应特性及最优装配预紧力控制、换能器动态阻抗相位检测方法,获得成果如下:(1)基于DDS直接数字频率合成技术并结合高性能STM32单片机、阻抗相位检测电路、电流真有效值检
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