PZT薄膜的改性研究及其在微执行器中的应用

被引量 : 3次 | 上传用户：huangyp2002

【摘要】

：

本文采用溶胶凝胶法制备PZT薄膜,研究薄膜的改性工艺及其在微执行器中的应用,表征改性后薄膜的晶向、微观结构、介电、铁电、抗疲劳和振动性能。通过研究缓冲层工艺和掺杂改性工艺对PZT薄膜生长的影响,探讨PZT缓冲层引导生长机理和掺杂改性机理。全文包括以下三个部分:(1)研究PbTi O_3缓冲层和不同铅含量的PZT缓冲层对PZT薄膜生长的影响。制备含PbTi O_3缓冲层的PZT薄膜,其性能测试结果表

【作者】

：

李奇

【机构】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2018年01期

【关键词】

：

半导体薄膜锆钛酸铅溶胶凝胶法缓冲层工艺掺杂改性微执行器

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