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环境气氛对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管稳定性影响的研究

来源 :上海交通大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yellowerriver

【摘 要】

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【作 者】

：

徐佳能 

【出 处】

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上海交通大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

非晶铟镓锌氧 薄膜晶体管 稳定性 环境气氛 氧空位 

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