激光传感器位移测量精度分析及不确定度评定

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点激光三角法非接触测量具有结构简单、测量效率高、无测量应力、实时处理能力强等优点,广泛应用于三维曲面的快速测量和逆向工程中。但是,激光三角法测量精度易受到其他因素影响,如传感器自身非线性误差、被测表面特性等,尤其是被测表面倾斜角度对其测量精度具有较大影响。本文研究了曲面测量过程中影响激光位移传感器精度的主要因素,从理论与实验两方面探讨了各因素对传感器精度的影响机理,并对实际应用的测量结果进行了模糊不确定度评定。针对传感器的非线性、被测表面颜色、材料等因素对测量精度造成的影响,进行相关理论与实验研究;对于规律性及重复性较强的非线性误差,通过激光干涉仪进行标定补偿,对于其他影响程度不同的因素,分别给出相应的改进方案。规定被测物体表面法线方向应与发射光束方向相一致,因被测物面发生倾斜所产生的误差称为物面倾斜误差。针对曲面测量中不可避免的物面倾斜误差,设计并制造了物面倾斜误差检测装置,通过理论分析及实验测量获得了被测物面发生倾斜时,激光传感器在各个位移及角度下的误差校准曲面。在测量大型曲面的实际应用中,为对激光测量结果可信度做出科学说明,本文应用模糊不确定度理论,对火箭喷管实际廓形母线的激光测量数据进行了扩展不确定度模糊评定,获得了测量数据的估计区间。所获得的研究成果对于提高三角法激光位移传感器测量曲面廓形的精度具有一定参考价值。
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