微电子产业作为国民经济和社会发展的战略性产业，也是构成现代科技文明的基本元素，它几乎给所有产业都带来了巨大的影响，被称为“产业的种子”。半个世纪以来，世界微电子产业始终遵循“摩尔定律”的速度在不断更新技术，整个产业都处在一个快速发展的通道中。我国微电子产业起步较晚，虽然在政府和社会的重视和支持下获得了飞速发展，但是与不断增长的国内市场需求以及发达国家的产业水平相比仍然存在较大的差距，技术创新水平低下成为我国微电子产业发展过程中最大的瓶颈。因此，为了突破这一瓶颈，本文提出了对我国微电子产业技术创新效率进行研究的命题。对我国微电子企业的技术创新效率进行测度、对比和分析研究，可以准确了解我国微电子企业与国外优秀企业技术创新效率之间的差距，对于我国微电子产业技术创新能力的提高具有现实的指导意义。　　本文通过技术创新效率有关理论的研究和归纳，以微电子产业的经济分析为基础，选择随机前沿分析法（SFA）对我国微电子产业11家知名上市公司的技术创新效率值进行测算和对比分析，并利用面板数据分析法对影响技术创新效率的相关因素进行研究，得出的主要结论如下：　　1．微电子产业的发展经历了多次革命浪潮，逐渐形成竞争性垄断结构的市场，并在其发展过程伴随着持续创新，强渗透和产业竞争基础常因突破性创新发生变化等特点。　　2．整个微电子产业的技术创新效率在逐年提高的同时，我国微电子企业的创新效率值却远远低于国外，仅有极少数的企业处于技术创新有效状态，而且各企业之间的技术创新效率差异比较大。我国微电子产业技术创新活动的非效率主要是企业可以控制的内部因素导致的，而其中研发资金的影响程度最大。　　3．运用面板数据模型对我国微电子产业技术创新效率影响变量进行实证分析，实证结果表明研发经费投入强度，人员结构，资本密集度对我国微电子产业技术创新效率具有正相关影响，而销售费用率对微电子产业技术创新活动具有负相关影响。而除了上述企业自身可以控制的技术非效率因素外，还有一部分企业无法控制的外部因素，比如政府的政策支持、较高的产业开放度和良好金融环境等因素都促进着我国微电子产业技术创新效率的提高。　　依据实证分析结论，联系微电子产业的发展特点，为改善目前国内微电子产业技术创新效率低下的情况提出对策建议。以期对我国微电子产业技术创新能力的提高提供参考。