波分式3D眼镜多通道滤光膜的研制

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 2次 | 上传用户:GYQ865739853
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自1915年以来,3D显示技术就开始受到人们的广泛关注。发展至今,3D显示技术已经在影视产业占据了重要的一席之地。随着生活水平的提高和科学技术的发展,人们对3D显示性能的要求也越来越高。本文根据3D眼镜的使用要求,研制了一种新型的波分复用式三带通滤光膜,即在可见光范围内,分别在左右镜片镀制通带互补的高矩度窄带三带通滤光膜,通过波长差异实现左右眼图像分离,产生双目视差。通过实验,对多种薄膜材料的物理性质、化学性质以及光谱特性进行分析,选择TiO2为高折射率材料,SiO2为低折射率材料。在沉积过程中,针对TiO2材料性质不稳定,易生成低价态的氧化物,影响薄膜结构,导致薄膜性质发生变化的特性,对TiO2薄膜展开研究,试图通过使用微波等离子体辅助脉冲直流磁控溅射沉积技术达到提高薄膜质量的目的。实验中,分别改变氧气流量和等离子体微波功率来沉积TiO2单层膜,并采用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),拉曼光谱(Raman),X射线衍射检测(XRD)和分光光度计对TiO2薄膜的光谱特性和表面粗糙度进行测试、模拟及分析。通过对实验结果分析,同时考虑光散射和吸收影响,为了真实精准计算光学常数,建立了由基底/理想TiO2层/粗糙表面层组成的TiO2单层膜结构;结合OJL模型、KK关系式、散射模型和Bruggeman模型,建立TiO2堆叠层的散射模型;使用Code软件拟合光谱曲线,计算出更准确的薄膜材料的光学常数;将TiO2和SiO2薄膜材料的光学常数导入膜系设计软件TFCalc,结合法布里-泊珞(F-P)和多半波结构,对膜系进一步优化,设计了左右镜片的膜系。综合考虑表面粗糙度和材料吸收系数,选出具有较低表面散射和吸收系数的TiO2薄膜的工艺参数,并结合SiO2的沉积工艺参数、膜系结构和计算修正后的材料Tooling值,完成左右镜片三带通滤光膜的制备。对研制的样品进行光谱测试,测量曲线与设计曲线在长波处吻合。根据样品透射率的误差,进行了散射数值的评估,引入附加参数L,重新定义粗糙表面特征方程,证实短波处的透射率损耗主要是由光散射效应导致。最后,对制备好的滤光膜进行牢固性、耐温性、耐潮湿性测试。
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