染料敏化太阳能电池(DSSC)制备成本低,应用范围广泛且相对具有较高的光电转换效率而备受关注。由于柔性较好的有机聚合物都有不耐高温热处理的特性,不利于实验制备Ti02光阳极的高温烧结条件,因此本文引进了能满足良好的柔韧性与耐高温特性云母基底与超薄玻璃基底。柔性导电基底主要以上层的透明导电薄膜与下层的透明柔性衬底所组成。其中上层的透明导电薄膜以技术成熟的ITO薄膜为主要代表,但由于其普遍生产成本较高且组成元素In是带有剧毒性的物质,不利于可持续发展的战略目标。发现AZO为最佳的替代物,其不仅具有优异的导电性能,且成本低廉容易获得并制备;但同时,也具有成膜要求厚度高的缺点,这点缺点可以通过在AZO薄膜中间镀层金属夹层Ag来制成三明治OMO夹层透明导电薄膜来实现。本文研究了在两种不同的柔性衬底上制备单层AZO与三明治OMO夹层透明导电薄膜的性能特点,并总结选出性能最佳的导电基底,制备成DSSC。得到的研究结果如下:(1)使用射频磁控溅射沉积技术在云母、超薄柔性玻璃基底上制备单层AZO导电薄膜,发现随着沉积温度的增加,薄膜光电性能均呈现逐渐增加的变化趋势,品质因子呈现先增加后减小的变化趋势。云母衬底上制备的薄膜在溅射厚度为300nm、沉积温度为200℃时,光电性能最佳,品质因子为6.24;超薄柔性玻璃衬底上制备薄膜在溅射厚度300nm、沉积温度为150℃时,光电性能最佳,品质因子为5.14;(2)使用射频磁控溅射沉积系统在云母与超薄柔性玻璃基底上制备的三明治夹层AZO/Ag/AZO薄膜溅射,发现随着夹层Ag膜厚的增加,薄膜电阻率呈现逐渐增加的变化趋势。云母衬底上制备的薄膜在沉积温度为200℃,膜层厚度分别为150/8/150nm时,光电性能最佳,品质因子为10.62;超薄柔性玻璃衬底上制备薄膜在溅射沉积温度为150℃,膜层厚度分别为150/10/150nm时,光电性能最佳,品质因子最佳为8.85;(3)选择不同条件下制备的衬底制备成DSSC,得到云母基底的单层AZO薄膜DSSC效率为2.049992%;三明治夹层AZO/Ag/AZO薄膜DSSC效率为2.779977%;超薄柔性玻璃基底的单层AZO薄膜DSSC效率为1.207419%;三明治夹层AZO/Ag/AZO薄膜DSSC效率为1.409638%。