石墨烯压力传感器工艺设计与加工关键技术研究

来源 :中北大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ymqlove

【摘要】

：

石墨烯是六角对称的蜂窝状二维材料,具有非常优异的电学与力学性能,超高的电子迁移率以及超大的比表面积使石墨烯广泛的应用于传感器领域。由于石墨烯由碳单原子层组成,相比于其他种类的传感器,存在量程小,易吸附周围环境中的杂质而变性,器件应用范围小、一致性差、无法长时间使用等问题,是石墨烯实用化亟待解决的难题之一。本文基于此提出一种大量程石墨烯压力传感器。以氮化硅弹性膜片为力的传递介质,并针对石墨烯器件存在

【作者】

：

赵世亮

【出处】

：

中北大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

石墨烯 Cu/Sn/Cu固液键合异质结构压力传感器稳定性

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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