PCVD TiN/TiN+Si/TiN多层膜高温微动磨损行为研究

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【摘要】

：

微动磨损性能差是直接影响钛合金在核电设备和航空发动机中安全使用的主要因素之一,由此引发钛合金在工作过程中发生微动损伤而失效。提高钛合金抗微动磨损性能是人们普遍关注的问题,但因微动过程的复杂性,研究方法各异,并且基本都是研究室温微动磨损,少见高温微动磨损相关文献报道。所以研究高温微动磨损的损伤机理和运行机制有着重要的理论意义和实际价值。利用高精度PLINT型高温微动磨损试验机对等离子体化学气相沉积(

【作者】

：

何其荣

【机构】

：

西南交通大学

【发表日期】

：

2008年06期

【关键词】

：

微动磨损温度 TiN/TiN+Si/TiN多层膜等离子体增强化学气相沉积(PCVD) 钛合金

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