微机电系统(Micro Electromechanical System, MEMS)技术极大的促进了引信系统微型化的发展。本文以用于控制起爆电路的万向开关为研究对象,对引信MEMS万向开关进行了性能分析。万向开关不但要能够感受加速度信号,而且要在加速度达到一定阈值时执行开关动作。首先对万向开关所处的引信环境进行了分析,提出了万向开关适应引信环境所需的多项性能指标,例如响应时间短、接触时间长、万向性、抗高过载以及抗飞行干扰等。对万向开关的工作原理和理论模型进行了研究和阐述。根据指标要求,对万向开关的结构进行设计,并分析了结构尺寸对开关性能的影响。其次,利用有限元仿真分析,对万向开关结构进行了静力学分析和动力学分析,以验证开关结构是否具有良好的万向性、抗高过载能力、较快的响应时间和较长的接触时间。另外,通过仿真研究得到了影响万向开关性能的关键参数,比如支撑弹簧的半径和线宽。确定了万向开关的具体结构尺寸,通过对具体结构仿真得到,开关的响应阂值为300g,响应时间为110μs。最后,在完成万向开关的结构设计之后,采用Coventor Ware软件对开关进行了工艺仿真模拟。