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在当前社会的发展过程中,微幅振动对精密仪器设备运行的影响已经不能忽视,隔振技术也越来越受到人们的重视。其中一种隔振技术不需要外加能量,称为被动隔振,但是由于其自身结构的特点,无法衰减低频振动。需要外加能量的隔振技术称为主动隔振,其优点是可以隔离低频振动。在被动隔振系统中加入主动控制元件,则成为主被动混合隔振系统。主被动混合隔振可以使隔振频带变宽,降低能量消耗,因而成为隔振技术的研究热点。隔振系统的结构形式多种多样,而台桌式主动隔振器是一种典型的主被动混合隔振系统。由于其稳定性好,可以隔离较宽频带的振