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本论文主要是对太赫兹表面等离子体波生化薄膜光谱检测系统做了理论、仿真以及实验研究。本项目提出了一种利用太赫兹表面等离子体波测量薄膜太赫兹光谱的方法,突破了传统检测方式因为薄膜样品的厚度与太赫兹波的波长相差甚远而无法发生充分的相互作用的限制。将生化薄膜样品置于半导体的表面,利用太赫兹表面等离子体波在媒质界面传播的特性测量薄膜的太赫兹光谱。在理论推导的基础上,通过数值计算给出了太赫兹表面等离子体波在本征半导体锑化铟-空气界面传播时的等效波长,证明了利用太赫兹表面等离子体波测量薄膜太赫兹光谱的方法的可行性