论文部分内容阅读
单晶硅太阳能电池制造行业的发展方向便是降低生产成本和增加转换效率。将太阳能电池的两个制备步骤合并为一个且不降低晶体硅电池性能便是降低生产成本的方法。而纳米金属的等离子激元共振对光的吸收和散射特性可以用来提高太阳能电池的转换效率。本文使用旋涂的方法来完成磷掺杂制备n+发射极和减反射层这两个步骤。同时利用磁控溅射来制备纳米银薄膜，并对纳米银薄膜的微观结构和光学性能进行了研究。主要内容包括：1.不同于商用的磷源，我们将使用正硅酸乙酯(TEOS)来制备不同磷源浓度的掺杂磷源。我们测试了SOD磷源中不