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由于化石能源的日益短缺,开发清洁、高效、环保的新能源已成为当务之急。锂离子电池作为能量的存储与转换单元在新能源领域占有重要地位。诸如数码相机、手机、笔记本这些便携设备中锂离子电池的身影随处可见。随着电子技术的发展以及微机电系统和设备小型化的要求,锂离子电池已经不能满足其需求。薄膜锂离子电池因其轻薄、与微电子工艺兼容、可制备为任意形状的特点而成为研究热点。本文采用了磁控溅射法分别制备了正极钻酸锂薄膜和锡钛合金负极薄膜。研究内容如下：采用冷压烧结法制备了钴酸锂靶材。使用射频磁控溅射法制备