【摘 要】
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本论文的研究是针对集成电路电光测量系统开展的光电接收部分的应用研究。本系统需要测量的光信号是非常微弱的( pA到nA量级),因此改善了信号的信噪比,提高了系统的探测精度
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本论文的研究是针对集成电路电光测量系统开展的光电接收部分的应用研究。本系统需要测量的光信号是非常微弱的( pA到nA量级),因此改善了信号的信噪比,提高了系统的探测精度是我们的研究目标。本论文主要进行了如下研究:首先,我们详细研究了电光采样系统中的噪声来源以及光电探测器的特性;其次,我们设计制作了低噪声前置放大器,对前置放大器中的噪声进行了研究,并通过伏地和负反馈来降低放大系统噪声;最后,我们研究了测量得到的电光信号数字化处理及虚拟显示,利用LabVIEW制作虚拟示波器,实现了打印、保存、读取、峰—峰值检测、最大最小值检测、周期及频率检测等功能。
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