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为了将器件有效地集成并更高效地输出能量,微型超级电容器应运而生,并引起了许多人的注意。其中微型超级电容器由于其较高的比表面积和较短的离子传输通道,有望成为下一代的微型能量存储器件。碳材料由于其较高的比表面积和良好的导电性,常被用于超级电容器的制作。在碳基微型超级电容器的制作中,常用的有喷墨打印、气相沉积和电镀等工艺。这些工艺存在着制作成本高、制作流程复杂、不能方便有效地对所制作的碳基微电极进行修饰改性等问题。与之相比,光刻工艺由于其便于得到精细的电极构型,且与当今的微加工技术可完全兼容,因而被广泛使