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静压气浮支承因其固有的近零磨损、无直接接触、高精度、清洁等优点，在精密、超精密测量和微纳加工等领域得到广泛应用。真空预紧静压气浮支承不仅能明显提高气浮支承静刚度，而且能承受双向负载，具有双向刚度，并可应用于各类禁磁场合。本文采用理论分析、数值仿真和模型实验相结合的手段，对真空预紧气浮支承的静承载特性进行了研究。首先，基于理想可压缩流体，建立了真空预紧气浮支承的三维流场动力学模型，并应用计算流体力学软件FLUENT进行了真空预紧气浮支承流场仿真，获得了气浮支承静承载能力和垂向静刚度曲线，分析了