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采用离子束沉积系统沉积了厚度为1μm的含氢DLC薄膜,采用增强型磁控阴极电弧镀膜设备沉积了厚度为2μm的TiAlN、CrN薄膜。通过纳米压痕仪测试了薄膜的硬度及弹性模量,用球盘式摩擦磨损试验机评价了各薄膜的水润滑特性。采用X-射线光电子能谱、带有EDS的扫描电镜分析了薄膜磨痕的成分及形貌。利用光学显微镜表征了小球磨痕,用三维形貌仪测试了薄膜磨痕形貌及截面形貌。结果表明,在水润滑中DLC薄膜与SiC小球、Al2O3小球对磨时摩擦系数较小在0.08以下,但是薄膜脱落。对比不同的水溶液,DLC/SiC对磨副在切削液和乙二醇溶液中薄膜脱落比在去离子水和海水中严重且摩擦系数更高;DLC薄膜与SUS440C小球和SUJ2小球对磨时,薄膜状况良好,但摩擦系数较高在0.12左右;DLC与SUS440C对磨时薄膜和小球磨损率在10-7mm3/Nm10-8mm3/Nm数量级之间变化,与SUJ2小球对磨时,薄膜和小球磨损率数量级是10-7mm3/Nm。DLC/SUS440C和DLC/ SUJ2对磨副主要的磨损机制是粘附磨损和磨粒磨损。TiAlN/SiC对磨副在20%乙二醇中对磨时相较于其它三种溶液摩擦系数最低约为0.399,薄膜磨损率最低约为1.41×10-7 mm3/Nm,而小球磨损率最高为6.68×10-7 mm3/Nm;去离子水中不同参数下TiAlN薄膜的磨损率均比SiC小球高,小球的磨损率数量级为10-6mm3/Nm10-7mm3/Nm,薄膜磨损率数量级为10-5mm3/Nm10-6mm3/Nm,TiAlN薄膜在高载荷高速率下具有低的摩擦系数和磨损率;TiAlN薄膜的磨损率不是随滑动距离的增加呈线性增加,磨损主要发生在摩擦的初始阶段,TiAlN/SiC对磨副在去离子水中的磨损机制主要有粘着磨损、磨粒磨损并伴随着脆性剥落,在高载荷高速下可能发生了氧化磨损。CrN/SiC对磨副在切削液中摩擦系数最低为0.067,且相比于其它溶液薄膜磨损率最低。