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环氧树脂材料凭借其优异的机械性能和电学性能,被大范围的应用在高压电气设备中。但是环氧树脂材料在直流高压电场下,其金属导体/绝缘材料/气体的三接触面处容易积聚表面电荷,削弱其绝缘性能,甚至引发沿面闪络事故,严重影响了电气设备的安全运行。因此,本文研究利用低温等离子体在环氧树脂材料表面沉积类Si O_2薄膜,在不影响绝缘材料本体性能的前提下改善其表面电学性能,达到抑制表面电荷积聚的目的。本文基于大气压等离子体增强型化学气相沉积技术,搭建了一套绝缘材料表面沉积处理实验系统,采用介质阻挡放电、大气压等离子体