甲醛OTFT气体传感器的制备

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常温下甲醛是一种无色,有强烈刺激性气味的气体,易溶于水、醇和醚,是一种重要的化工原料和有机溶剂。同时甲醛是一种原生质毒物,长时间暴露在低浓度的甲醛气氛中,人们会出现身体不适:头痛、眼睛刺痛,并引起呼吸道过敏反应,因此建立低浓度甲醛气体的检测方法具有重要的意义。检测甲醛的方法很多,而传感器法备受青睐,相对于其他气体传感器,OTFT具有响应速度快、选择性好、可以在室温条件下工作等优点。本文中OTFT(有机薄膜晶体管)采用底栅底结构,以450μm重掺杂的N型硅为衬底,195nm SiO2为绝缘层,采用宽长比为160的钛/金叉指电极,电极的关键尺寸为25μm。实验过程中通过高纯氮气气喷制备敏感薄膜,得到不同系列的OTFT气体传感器。利用半导体测试仪Keithley4200检测了OTFT传感器的输出特性、转移特性、对甲醛气体的气敏特性,计算迁移率、响应度、响应时间、恢复性等性能参数,利用SEM、AFM等手段对薄膜进行形貌表征。实验方案主要分为四个部分:(1)制备并探索P3HT和P3HT/ZnO敏感薄膜的特性,结果发现P3HT/ZnO复合薄膜兼具了P3HT的导电性和ZnO对甲醛的敏感性,又克服了高温的工作条件,实现室温下可检测;(2)针对P3HT/ZnO复合薄膜,设计了两组对照实验,一组对照不同气喷量对复合薄膜的影响;另一组对照不同质量配比对复合薄膜的影响。结果发现气喷量为1ml,P3HT/ZnO质量比为1:1是其最优化的复合参数;(3)采用最优的复合参数制备出P3HT/ZnO OTFT,研究其对低浓度甲醛的响应,在100ppm甲醛气氛下的重复性,长时间放置后器件的稳定性,检测甲苯、一氧化碳、甲烷、硫化氢和氨气来研究其选择性。结果发现器件重复性良好,但稳定性只有一周左右,最低检测甲醛浓度为10ppm,对甲醛的选择性良好,相对响应度均大于其它的干扰气体;(4)对比了P3HT和其它无机金属氧化物复合的薄膜特性,重点研究了P3HT/Fe2O3与P3HT/ZnO的对比,结果发现,P3HT/ZnO OTFT具有更突出的电学输出特性和更为良好的甲醛气敏响应,也更适合于制备甲醛OTFT气体传感器。
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