本文基于法布里-珀罗（Fabry-Perot,F-P）标准具多光束干涉原理测量微小角度的方法,分别对光学系统中F-P标准具、成像物镜以及反射镜对干涉圆环成像质量的影响进行理论研究和实验分析,为后续高准确度微小角度测量仪的研制提供理论基础。论文研究工作主要包括以下几部分:（1）基于F-P标准具多光束干涉原理,将出射的标准圆锥光束作为测量光束,研究了微小角度测量的原理和方法,并分析了多光束干涉的相关特性;同时介绍了三波长小数重合法测量F-P标准具间距d的原理;根据F-P标准具成像原理搭建了测量干涉圆环的实验装置。（2）基于多光束干涉模型,仿真分析了入射波长、成像物镜焦距、F-P标准具的反射率、间隔层的折射率、间距对F-P干涉成像系统中成像圆环的影响;针对成像圆环的光强大小问题,对F-P标准具干涉平板可能存在的吸收损耗、表面不平整和不严格平行等缺陷问题进行透过率的仿真分析;分析了环境温度对固体F-P标准具和空气隙F-P标准具中心波长漂移的影响;最后通过修正F-P标准具反射相移因子改进了三波长小数重合法,将F-P标准具间距测量结果的相对不确定度U d’d’提高到约9.9×10-7。（3）基于波前像差及畸变测量原理,利用哈特曼波前传感器测量成像物镜方法,测量了不同焦距的成像物镜,实验结果表明75 mm物镜的波前像差及畸变要优于50 mm物镜;在三个不同间距的F-P标准具下分别对两个成像物镜进行干涉圆环成像实验,实验结果表明75 mm成像物镜成像质量更好;在三个不同间距的F-P标准具下分别对有无反射镜进行成像实验,结果表明存在反射镜和没有反射镜的计算结果差别不大,上述研究结果可直接用于微小角度测量系统的光学成像特性分析,其影响因素与成像系统的影响因素相同,且影响规律一致。