基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测

来源 :中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) | 被引量 : 5次 | 上传用户：pengk33

【摘要】

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【作者】

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周毅

【出处】

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中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所)

【发表日期】

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2018年01期

【关键词】

：

表面形貌检测时域调制度相位纵向拼接超分辨显微成像宽光谱

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