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随着自然科学与工程技术的发展,微纳米技术被广泛应用于航空、航天、生物、医学、国防等领域。微操作执行器作为微纳米技术中的重要部件,是国内外学者研究的热点。微型化是微操作执行器发展的一个重要趋势,但微型化的同时也带来了研制成本高、制作周期长的问题。在微操作执行器的研制中,普遍存在可靠性不高、关键参数验证难的问题。本文针对微操作执行器研制中的难点及微型化工具验证难的问题,提出基于模块化多指执行器的柔性微操作方法,设计了模块化多指微操作执行器。在微操作机理及柔性操作方法方面,研究粘附力对微操作过程及柔性操作