光刻机投影物镜光学镜片作为曝光系统的核心部件,其精度要求极高,常用的分析方法是将光学镜片的光机热分析采用专业软件进行分析。但不同软件之间模型或数据的交互可能会引起部分数据丢失,从而引起分析结果偏差。因而需要一种对镜片光机热进行集成分析的方法来完成各种分析类型之间的数据交互,从而实现镜片的整个分析过程,缩短设计周期。本文通过对光学镜片分析过程中的机械结构分析、热分析、光学分析过程进行简单介绍并细致地阐述了它们之间的耦合关系,列出了光机热集成分析结果评价方法。从而提出一种实现镜片光机热集成分析的方法:基于ModelCenter的流程集成分析,另外通过C++Builder开发环境设计辅助软件来完善流程分析的功能。根据提出的方案,实现了镜片光机热分析模型的参数化,建立了基于ModelCenter的镜片光机热参数化集成分析流程,实现了分析过程中不同分析类型之间数据的交互及过程的自动化,得到了镜片光学分析特性图。同时开发的辅助软件完善了流程集成分析的功能,为镜片光机热分析过程提供了方便的操作界面。用户根据需要设置和修改分析过程中的参数,选择合适的分析类型,运行结束后可直观查看对应的分析结果。