论文部分内容阅读
清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境,世界上主要的工业国家也都在争取发展新一代的清洁真空获得设备。无油真空泵在很多领域已经越来越多的代替了油封式机械泵。无油真空泵目前已经发展到冷凝泵、柱塞泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。无油涡旋真空泵以其清洁度高、运行平稳、节省能源、体积小、重量轻、噪音低等特点一经推出就获得了广泛的应用。但由于其在研制、设计、加工、制造过程中的技术问题,目前国内没有几个厂家生产。研究符合中国市场要求的无油涡旋真空泵填补国内空白就成为国内科技工作者的重