射频等离子体放电制备DLC/Mo-DLC膜的性质研究

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【摘要】

：

类金刚石薄膜(diamond-like carbon,简称DLC)具有诸如:高硬度、低摩擦系数、极高的电阻率等许多优良的特性而引起了人们广泛的兴趣。但在某些方面DLC膜还存在着缺陷如:内应力大、热稳定性差、与许多衬底的附着性差。为了改善DLC膜的性能,掺金属的类金刚石薄膜从而成为人们研究的重点。本论文采用了双射频激发容性耦合等离子体增强化学气相沉积技术,高频运用40.68 MHz;低频运用13.5

【作者】

：

杨磊

【机构】

：

苏州大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

双频激发等离子体放电磁控溅射放电类金刚石薄膜钼掺杂的类金刚石薄膜

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