【摘 要】
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超精密加工技术作为衡量一个国家制造技术水平的重要标志,受到了世界各国的高度重视。超精密零件尤其是超精密光学元件,在航天、国防等尖端领域具有非常重要的战略意义。超精密加工机床进给控制系统不同于一般的机床进给控制系统,它要求很高的精度和刚度以及低速平稳性能。本文针对大口径光学晶体专用超精密加工机床进给控制系统的要求,采用永磁直线电机作为气浮工作台的驱动装置,以高精度光栅尺作为位置反馈元件,完成了满足光
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超精密加工技术作为衡量一个国家制造技术水平的重要标志,受到了世界各国的高度重视。超精密零件尤其是超精密光学元件,在航天、国防等尖端领域具有非常重要的战略意义。超精密加工机床进给控制系统不同于一般的机床进给控制系统,它要求很高的精度和刚度以及低速平稳性能。本文针对大口径光学晶体专用超精密加工机床进给控制系统的要求,采用永磁直线电机作为气浮工作台的驱动装置,以高精度光栅尺作为位置反馈元件,完成了满足光学晶体超精密加工要求的进给控制系统。首先,基于永磁直线电机的工作原理,建立了其数
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