BaSrTiO铁电薄膜的制备及其性能研究

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  本文采用溶胶—凝胶法,对制备适合应用于非制冷红外焦平面阵列的BST薄膜材料进行了研究。首先,对配制稳定溶胶的工艺条件进行了研究,通过前期实验,最终确定了以乙酸钡、乙酸锶、钛酸丁酯为反应物,乙酸和乙二醇甲醚为溶剂,乙酰丙酮为螯合剂,控制反应温度在50~70℃,加水量不超过5﹪,所制备的溶胶稳定性较好。采用旋涂法涂膜,选择合适的涂膜条件制备了均匀性良好的湿膜,对湿膜的热处理工艺进行研究。采用XRD、AFM、XPS对薄膜进行分析;研究了分别掺杂锡、镧对BST的性能的影响,同时研究了具有交替结构(BSTSn/BLaST/BSTSn)的性能。研究发现:掺杂锡的薄膜介电常数和介电损耗均减小,介电常数和介电损耗对频率的稳定性较差;掺杂镧的薄膜介电常数减小不明显,介电损耗降低。测量了BST薄膜和BSTSn/BLaST/BSTSn薄膜的电滞回线和热释电系数。   
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