随着微纳米制造技术的飞速发展,微细加工领域的纳米级工艺已经趋近成熟。在微小工件的超精密加工和检测过程中,对于生产与测试环境的要求也愈来愈高。其中严重影响加工与检测精度的一个因素是环境与相关设备的微弱振动。如何安全可靠的将这些微振动与微纳米加工和测试设备隔离,构成超精密装备与微纳米设备领域亟需解决的关键难题之一。为克服被动振动控制的不足,基于压电叠堆执行器的主动隔振平台开始受到国内外关注。本文以基于压电叠堆执行器的微振动主动隔振平台的迟滞非线性辨识与微振动主动控制方法为研究目标,建立了描述压电叠堆执行器迟滞非线性行为的离散Bouc-Wen模型和离散非对称Bouc-Wen模型;提出了基于改进粒子群算法的Bouc-Wen模型参数辨识方法;在此基础上,引入仿射投影自适应滤波算法开展了基于压电叠堆执行器的微振动主动控制研究。所做的主要工作如下:（1）在分析粒子群算法实现过程和性能特点的基础上,通过结合无需调整任何算法本身参数的Jaya算法,提出了一种改进的粒子群算法。通过三个测试实例进行了仿真验证,结果表明改进的粒子群算法收敛到全局最优解的能力更强,能够实现高效的优化求解与模型参数辨识。（2）建立了描述压电叠堆执行器迟滞非线性特性的Bouc-Wen模型与非对称Bouc-Wen模型,针对离散控制系统需求,推导了离散Bouc-Wen模型与离散非对称Bouc-Wen模型。采用改进的粒子群算法对两种离散Bouc-Wen模型进行了参数辨识,对比离散Bouc-Wen模型,所提出的离散非对称Bouc-Wen模型对迟滞非线性的描述精度更高。（3）研究了自适应滤波-X仿射投影算法（FXAPA）,给出了相应的推导公式和分析。结合变步长思想与凸组合理论,提出了一种变步长FXAPA算法和一种凸组合变步长FXAPA算法,给出了相应的计算复杂度。并对FXAPA算法、变步长FXAPA算法以及凸组合变步长FXAPA算法进行了仿真对比分析,验证了所提出的凸组合变步长FXAPA算法在微振动主动控制中的有效性与优越性。（4）基于MATLAB xPC实时控制环境,结合压电叠堆执行器微振动主动隔振装置、电容位移传感器、功率放大器和信号调理器构建了基于压电叠堆执行器的三自由度微振动主动隔振平台。基于该主动隔振平台,采用FXAPA算法、变步长FXAPA算法以及凸组合变步长FXAPA算法进行了振动主动控制实验研究,并得到了相应的实时振动控制效果。实验结果表明,所提出的变步长FXAPA算法和凸组合变步长FXAPA算法比FXAPA算法具有更好的抑振性能,且凸组合变步长FXAPA算法更具有优越性。