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精密制造已经成为制造领域的研究热点之一,广泛应用于制造业、建筑业、国防工业、医学等尖端领域。精密定位机构作为精密制造的核心部分,其设计水平的高低将直接影响精密制造的水平。集成式全柔性并联定位机构通过弹性变形来实现力、能量、运动的传递,相对于传统的并联定位机构具有高刚度、高精度、无摩擦的优点,因此被广泛的应用于精密定位领域,然而随着精密制造行业的快速发展,对定位精度的要求也越来越高,在一些精密定位领域,集成式全柔性并联微定位机构已经无法满足精度要求。所以设计一种动态特性好、定位精度高以及实用性强的超精