对于平面度的计量,传统的方法是通过等倾干涉仪对标准平晶进行绝对检验,然后向长平晶、研磨面平尺传递;或通过等厚干涉仪向其他尺寸圆平晶传递。随着计量体系的发展,在最新的国家体系中引入了相移干涉仪作为主要计量仪器之一,然而其指标体系与传统干涉仪不同,中国计量院曾组织一次比对,只能分别进行统计分析,未能对相移干涉仪测量的数据有效性、兼容性等得出结论。本文以此问题展开,对目前的相移干涉仪进行计量化改造,在提高采样精度的同时保留原有的采样指标,保证计量的兼容性及先进性。本文讨论了直线和面域上不同的平面度指标体系、提出了以点控线和以线控面过程中的假设和附加要求对于传递精度的影响;分析了相移干涉仪高分辨率测量的优势及在量值传递中的重要地位;提出了针对面传递,以特征截面替代“任意”正交截面的方法;在线传递中,建议取消长平晶以达到计量扁平化的要求,并综合不同计量器具及国防科研需求,提出以相移干涉仪1mm采样间隔进行传递,真正做到量值传递途径统一。为了填补相移干涉仪计量领域的软件空白,通过对计量软件的需求分析,采用三层架构的模块化的思想,设计了平面度计量软件FlatEx。论文描述了软件的整体架构和各个功能子模块的实现方法,并附上UML类图和各个功能的流程图。最后,基于相移干涉仪对圆平晶进行三面互检,在与等倾干涉仪检定结果比对中,表现出良好的一致性;对研磨面平尺分别采用子孔径拼接及掠入射测量,二者PV值分别为0.269μm、0.292μm,均符合研磨面平尺检定要求。