碲锌镉(Cd<,1-y>ZnM<,y>Te，简写为CZT)为Ⅱ—Ⅵ族化合物半导体材料，具有闪锌矿结构，是一种重要的半导体材料。碲锌镉晶体电阻率高、原子序数大、禁带宽度大，在室温下对x射线、γ射线具有较好的能量分辨率。 本文初步摸索了CdZnTe探测器的制作工艺，重点突破欧姆接触这一难题。研制成的室温CdZnTe γ射线探测器对<57>Co放射源的辐照有明显的响应，用此探测器探测到了<57>Co122KeV谱线，能量分辨率为2.32﹪。 结果表明： (1) 表面处理和退火是欧姆接触制备工艺中的两个关键因素。 (2) 采用辉光直流放电溅射镀膜的方法，以Au作为电极接触材料经175℃退火两个小时可以实现欧姆接触。 (3) 为了降低表面漏电流，需要对晶片进行钝化处理。