版图转换算法与灵敏度新模型研究

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集成电路的成品率优化一直是半导体业界关心的问题,尤其是目前硅集成电路进入特征尺寸为纳米的工艺阶段,以成品率为核心的可制造性设计成为其中的研究热点,而版图设计阶段的成品率性能更是优化电路设计和制造工艺研究的重要课题。版图的图像格式不仅是随机缺陷热点检测的基础,而且也更有利于精确计算版图的关键面积和后续版图的优化,更重要的是为集成电路成品率的提高奠定了基础。本文以提高集成电路成品率和版图优化效率为目标,结合图像处理技术提出一种将版图格式的文件转换为图像格式文件的算法。该算法以CIF命令和BMP命令为基础,不仅能实现CIF文件的图元转换为BMP图像,而且能完成整个CIF版图的转换。此外,考虑到随机缺陷分布的版图设计是减少成品率损失的有效途径,文中进一步研究了版图的布线优化问题。为了减少由冗余物和丢失物缺陷所引起的成品率损失,需要提取版图优化线网的位置信息。本文提出了一种新的短路开路灵敏度(NSOS)模型,并基于随机形状缺陷和随机形状线网实现了提取待优化线网位置的算法。部分版图上的实验结果表明,NSOS线网灵敏度模型可用于确定版图优化线网的位置,为受缺陷影响的版图优化过程提供了精确的依据,从而实现了版图优化系统性能的改进。
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