随着科技的发展，在微机电系统的应用中对硅的特征尺寸要求越来越高。本论文首先分析了单晶硅的各项性质，硅片制备及硅片减薄技术，硅微加工方法。我们发现当单晶硅不断被减薄至微米量级时，其并不是宏观表现的刚性和脆性，而是与之相反的可伸缩性和可折叠性。本论文从理论以及实验上分析了超薄单晶硅的可伸缩性和可折叠性。当由一个弹性基质PDMS作支撑,这种“波浪”单晶硅可以在大的应变水平下可逆地拉伸和压缩而硅本身不被破坏，波的波长和振幅进行周期性的变化来适应这些变形。作为单晶硅可伸缩性和可折叠性的一个重要应用就是MEMS微变形镜。MEMS微变形镜可以作为自适应光学系统波前校正器。自适应光学系统由波前传感器、波前控制器和变形镜三部分组成。本论文通过对目前国内外微变形镜的研究现状以及所遇问题进行分析，确定以静电驱动连续面型可变形镜作为研究对象，并对变形镜静态，动态响应进行深入的理论分析。为了探讨不同电极数目，电极阵列，超薄硅薄膜厚度，大小对微变形镜变形性能的影响，我分别设计并制作了88，1616，3232驱动电极阵列，并确定了一种可有效测试出超薄硅变形反射镜不同驱动电压与变形位移关系的方法。