光滤波器是IP/WDM光网络中节点和终端设备的关键器件。基于平面波导谐振腔的光滤波器具有结构简单、性能好、集成性高、易于构成其他光器件等优点而备受关注。本文主要进行半导体多量子阱平面波导谐振腔滤波器的研究,开展了四端口器件理论、数值分析方法、滤波器优化设计、制作和测试等系列工作。论文首先分别给出三种材料——InP基InGaAsP-MQW、GaAs基InGaAs/InAlAs- MQW和GaAs/AlGaAs的结构,深入分析了三种材料构成的脊波导中的光波模式和传输特性,获得了单模工作条件和参数,为设计谐振腔滤波器奠定了基础。然后采用时域有限差分(FDTD)法,基于InP/InGaAsP- MQW单模脊波导,优化设计了矩形和跑道形并联谐振腔滤波器;优化设计了GaAs基InGaAs-InAlAs MQW环形谐振腔光滤波器;获得单谐振腔和谐振腔级联的仿真结果,包括光场分布,滤波器的光谱特性等;对所得结果进行了讨论,证实了所提方案的可行性。最后,基于国内先进的生产线,研制出InP/InGaAsP平面波导谐振腔滤波器。建立了具有国际先进水平的81910A光子全参数测试系统,实现了裸片与单模光纤的高效耦合,两类谐振腔滤波器裸片在实验室内通过了光学性能的测试,测试结果与仿真结果基本相似,输出端功率谱图显示该器件具有较明显的滤波特性。